Feldelektronenmikroskop

Fẹld|elek|tro|nen|mi|kro|skop auch: Fẹld|elekt|ro|nen|mik|ro|skop 〈n. 11; Phys.〉 Mikroskop, das über durch Feldemission ausgelöste Elektronen ein starkvergrößertes Schattenbild der Kathodenspitze erzeugt, auf dem Strukturen bis in den atomaren Bereich zu erkennen sind

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Feld|elektronenmikroskop,

 

von E. W. Müller 1937 konstruiertes linsenloses Emissionsmikroskop zur direkten Abbildung Elektronen emittierender Metallspitzen. In einem Vakuumgefäß ist eine sehr feine Wolframdrahtspitze als Kathode einem Zinksulfid-Leuchtschirm gegenübergestellt. Wird an den Anodenbelag des Glaskolbens eine gegen die Metallspitze positive Spannung (1 000-10 000 V) gelegt, so tritt vor der Kathodenspitze eine so hohe Feldstärke auf, dass es zur Feldemission durch Tunneleffekt kommt. Die Elektronen verlassen die Spitzenoberfläche praktisch senkrecht und erzeugen auf dem Leuchtschirm ein Bild von der Emissionsverteilung der emittierenden Spitzenkuppe in einer Vergrößerung, die gleich dem Verhältnis vom Schirmabstand zum Krümmungsradius der Spitze ist. Das Auflösungsvermögen für an der Spitze adsorbierte Partikel reicht mit etwa 2 · 10^-9 m bis in den molekularen Bereich. Eine noch höhere Auflösung liefert das Feldionenmikroskop. Eine Weiterentwicklung ist das Rastertunnelmikroskop (Rastermikroskope).